慧选网最新消息，位于北京经开区的东方晶源自主研发的电子束晶圆缺陷检测设备在2021数字中国创新大赛集成电路赛道暨首届全国集成电路“创芯大赛”中获得二等奖，标志着其自主研发的电子束晶圆缺陷检测设备在集成电路良品率检测水平已达到国内较高水平。

东方晶源电子束缺陷检测产品作为此次比赛中为数不多集软件、硬件于一身的集成电路产业链上游设备，在总决赛现场获得学术、产业、行业知名投资机构、产业孵化等多领域的评委高度评价，未来应用市场十分广阔。

东方晶源电子束晶圆缺陷检测设备基于公司自有的电子束扫描核心技术研发，攻坚克难用六年的时间终于让设备得以面世，其一大用途为检测半导体硅片在生产制造工艺环节中产生的缺陷，为芯片制造过程中良率检测过程提供有力保障。